国内企業が半導体素材分野で日本の輸出規制を無力化できる成果を出した。 22日、ラムテクノロジーは、超高純度フッ化水素を開発したと明らかにした。 液体と気体の形態いずれも生産可能な技術だという。 フッ化水素は、半導体の回路を削ったり、洗浄に使われる素材だ。 微細工程では精度と完成度を高めるため、99.9999%（6N）以上の超高純度製品が使われる。
ラムテクノロジーは「従来の方式は蛍石を用いて▲蒸留法▲電気分解法▲吸着法▲膜分離法など様々な精製工程を経なければならなかったが、今回開発した方式は前処理過程が省略される」と説明した。
最も注目すべき部分は純度だ。 これまで半導体素材大国の日本は、12Nフッ化水素まで量産していた。 高純度の製品のほとんどは、日本の昭和電工、モリタ、ステラケミファが生産している。 日本の輸出規制当時、高純度フッ化水素が3大制限品目に含まれた理由だ。
国内のSKマテリアルズ、ソルブレイン、ラムテクノロジーなどがフッ化水素の国産化に成功したが、品質面で違いが存在するという。 ラムテクノロジーが超高純度フッ化水素の量産に突入すれば、日本の技術力を超える初の事例となる。
ただし、量産化関連の具体的な日程は未定だ。
ただし、量産化関連の具体的な日程は未定だ。
https://news.naver.com/main/read.naver?sid1=105&oid=138&aid=0002113991