［日本の輸出規制から２年］技術における日本からの自立、残るは「最後の壁」のみ 6/29(火) 9:09配信 ハンギョレ新聞 東進セミケム発安工場を訪ねて 日本の3大規制品目のうち、完全国産化が未達成の 唯一の品目「フォトレジスト」 政府による予算支援、諸企業の密着協力 日本が掌握する市場で「シェア10％」 工場訪問前に送られてきた案内の電子メールには、携帯品リストを記してほしいと書かれていた。携帯電話以外は原則として持ち込めないとの趣旨だった。写真撮影にも難色を示した。清浄状態を保たなければならない保安施設であるということと、光に敏感な物質を製造する施設であるためだという。 今月22日午後、京畿道華城市(ファソンシ)にある東進セミケム発安(パラン)工場を訪れた。案内棟の保安検査台を過ぎて中に入ると、工場の敷地が広がっていた。外から見ると平凡な農工団地施設のように見えたのとは全く違っていた。現場で会ったキム・ジェヒョン副社長は「総敷地面積は5万坪を少し超える」と話した。 … フォトレジスト製造企業としては韓国の代表格である東進セミケムの発安事業所第3工場の竣工・稼動(今年4月)や、「極端紫外線(EUV)用フォトレジスト」技術の短期間での向上は、いずれも日本の輸出規制措置がなければ現実とはなり得なかった。EUV用フォトレジストは「高純度フッ化水素」(エッチングガス)、「フルオリンポリイミド」(ディスプレイ素材)と並ぶ輸出規制強化3大品目で、2019年7月の日本による規制から2年となる今も、完全な意味での国産化段階には至っていない唯一の品目だ。 … フォトレジストは使用する光の波長によって、フッ化クリプトン(KrF、248ナノメートル)用、フッ化アルゴン(ArF、193ナノメートル)用、EUV(13.5ナノメートル)用などに分けられる。回路の線の幅を意味する数字が小さいほど微細な工程に有利となる。日本が規制対象とした戦略物資こそ、まさにEUV用フォトレジストだ。超微細な工程に使われ、国内では現在、サムスン電子でのみ量産に使われているという。 フォトレジスト分野において国内では独歩的な東進セミケムは、この2年間で2つの重要な成果をあげている。どちらも日本の輸出規制に対抗して予算を投入した国策事業として推進されたものだ。 一つは、従来の素材より性能を大幅にアップグレードしたフッ化アルゴン用フォトレジストを開発したことだ。長く取引関係のあったSKハイニックスをはじめ、これによってサムスン電子にもアップグレードしたフッ化アルゴン用フォトレジストを昨年11月から供給できるようになった。これまでは日本の企業にほぼ完全に掌握されていた分野だ。 … 同じく現場訪問時に取材に応じてくれた同社のキル・ミョングン専務は「韓国のフォトレジスト市場における日本側のシェアは約85％と依然として高いが、東進のシェアは規制以前は6～7％だったものが、現在は10％を上回っている」と述べた。同社の資料によると、韓国のフォトレジスト市場の規模は1兆4000億ウォン(約1370億円)ほど。 もう一つの重要な成果が得られた分野は、まさに問題のEUV用フォトレジストだ。東進は素材の品質向上にかなりの進捗を見せており、あわせて安定した品質を確保するための準備も進めている。 EUV用分野において、完全な意味での国産化と考えられる製品化・商業化の段階に至るのがいつになるかはまだ分からないとキム副社長は述べた。品質をさらに改善する努力とともに、「昨日作ったものと今日作ったものが同じ品質を保っているか」などを繰り返しテストした後に決まるだろうという。まだ開発中であり、量産段階には至っていないという点で、依然として未解決の課題を一つ抱えているわけだ。 … 学びがある！ 28 分かりやすい！ 53 新しい視点！ 36 https://news.yahoo.co.jp/articles/c9afd0a3b82c9b06834b2b6546199406bc2265fb 最初からフォトレジストが難関と言われていた 韓国は低い壁を何枚も乗り越えてようやく精神安定 ・最先端向けフッ化水素は日本製で、レジストは国産シェアが10%です。他にも戦略物資が沢山あります ・ホワイト国を外された時は散々言ってたのに、もう忘れたんですか？ ・日本はそもそも輸出規制をしてません。韓国の不明瞭な管理を問題視しているだけです ・韓国の半導体は不良品の割合が高まって、台湾とのシェア争いで引き離されてるって言ってました ・韓国の最後の壁は、何枚あるんですか？モノリス？のようにニョキニョキと生えてくるんですか？
Source: News U.S.
韓国「2年頑張ったけど、国産フォトレジストのシェアは3%しか上がらなかった」 だっさｗ